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Gcghvf

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[交流] 科研求助

磁控溅射靶枪的夹角会影响合金靶材里原子的溅射产额吗？合金靶材里的原子溅射产额比跟原子质量比的指数呈反比吗？如果我用一个合金靶材和一个纯金属靶材一起溅射，怎么控制薄膜的成分大致跟合金靶材的成分接近呢？

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1楼 2023-09-13 20:12:02

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