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磁控溅射靶枪的夹角会影响合金靶材里原子的溅射产额吗？合金靶材里的原子溅射产额比跟原子质量比的指数呈反比吗？如果我用一个合金靶材和一个纯金属靶材一起溅射，怎么控制薄膜的成分大致跟合金靶材的成分接近呢？ 发自小木虫IOS客户端 |
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