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159086244

新虫 (正式写手)

[求助] 求问Plasma density或者Plasma power density的计算

求问各位大佬

我是做薄膜材料的,使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)

有些文章里,使用电容耦合等离子(CCP)方法,极板面积是X,等离子功率是Y,他们就会说Plasma density是y/x

但是我目前使用的方法是ICP,应该如何计算Plasma density
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