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求问Plasma density或者Plasma power density的计算
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求问各位大佬 我是做薄膜材料的，使用等离子增强化学气相沉积（PECVD） 有些文章里，使用电容耦合等离子（CCP）方法，极板面积是X，等离子功率是Y，他们就会说Plasma density是y/x 但是我目前使用的方法是ICP，应该如何计算Plasma density |
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