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Gcghvf

新虫 (初入文坛)

[交流] 科研求助已有6人参与

我是用磁控溅射做的ZrCoAlTi非晶薄膜，在用场发射扫描电镜观察表面的时候难以对焦倒是膜被融，可能是哪些原因，有什么解决办法吗

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1楼2023-09-06 22:08:00
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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引用回帖:
7楼: Originally posted by Gcghvf at 2023-09-07 17:02:45
基底是单晶硅，
...

把基底和薄膜表面连接一下用导电胶，另外降低加速电压，相对小一点工作距离
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9楼2023-09-08 10:40:40
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神域爷

银虫 (著名写手)
★
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能量太高了聚焦时候

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2楼2023-09-06 22:24:00
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Angel01

新虫 (著名写手)
提供溅射靶材

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3楼2023-09-06 23:33:25
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
基底材料是啥，导电性不好么，可以用导电炭胶或者银胶把样品表面和台子之间粘一下，尽量把样品表面的电荷导走
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4楼2023-09-06 23:37:42
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