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xf881019w

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[求助] PVD薄膜沉积过程中的Overlay Mark shift问题

如题所示，求一些相关文献，PVD的薄膜沉积中，这种Overlay的Mark shift是由于靶材后面的磁控管造成的吗？磁场对这个现象的应先是怎样的？求相应的参考文献或者书籍类的资料

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1楼 2023-08-31 17:18:27

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