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PLD加热源问题
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| 友友们帮帮忙,我们PLD设备的加热源有问题,问题在于:加热丝缠绕在氧化铝陶瓷表面,可能是PLD在生长薄膜的时候有其余成分附着在了陶瓷表面,导致陶瓷表面变导电了,导致加热丝和陶瓷之间是导通的,友友们有没有办法 在减少对加热丝损害的同时,能够去除氧化铝陶瓷表面的导电物质。 |
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