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PLD加热源问题
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Guet051111
铁虫
(初入文坛)
应助: 0
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金币: 37.3
帖子: 6
在线: 6.3小时
虫号: 33635738
注册: 2023-04-23
性别: GG
专业: 半导体材料
[
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]
PLD加热源问题
友友们帮帮忙,我们PLD设备的加热源有问题,问题在于:加热丝缠绕在氧化铝陶瓷表面,可能是PLD在生长薄膜的时候有其余成分附着在了陶瓷表面,导致陶瓷表面变导电了,导致加热丝和陶瓷之间是导通的,友友们有没有办法 在减少对加热丝损害的同时,能够去除氧化铝陶瓷表面的导电物质。
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2023-08-17 20:27:44
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