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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射靶退磁
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船长的船

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶退磁 已有1人参与

请问磁控溅射使用三四年以上，靶子里面的磁体会退磁吗？之前强磁靶可以溅射2mm厚的铁、钴、镍靶材，现在只能溅射1mm厚的靶材，并且溅射速率较慢。这应该是靶内磁体退磁，但一般溅射都是常温，有几次最高衬底温度是300度，为什么还是会退磁呢？

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1楼 2023-08-15 11:44:36
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起风了人呢

新虫 (小有名气)
衬底是衬底温度，一般靶头连接冷却水的，不会有问题。如果是高温退磁，同时可能会存在融靶的现象
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2楼2024-12-02 22:45:30
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起风了人呢

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

另外我想请问这种强磁靶头和普通的RF靶头有什么区别呢?
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3楼2024-12-02 22:51:19
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