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磁控溅射靶退磁 已有1人参与
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请问磁控溅射使用三四年以上，靶子里面的磁体会退磁吗？之前强磁靶可以溅射2mm厚的铁、钴、镍靶材，现在只能溅射1mm厚的靶材，并且溅射速率较慢。这应该是靶内磁体退磁，但一般溅射都是常温，有几次最高衬底温度是300度，为什么还是会退磁呢？ 发自小木虫Android客户端 |
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