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有同志知道氮化硅有机流延这种情况怎么回事么
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学员qDJUMA
新虫
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专业: 半导体材料
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有同志知道氮化硅有机流延这种情况怎么回事么
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图1是宏观表现 图2是sem下照片
@
chinaworm
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1楼
2023-07-31 20:20:39
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chinaworm
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在线: 552.9小时
虫号: 259426
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性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
管辖:
无机非金属
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2楼
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Originally posted by
xkkp
at 2023-07-31 20:22:45
照片发不出来,在sem500倍的情况下能看到一道道不均匀分布的裂缝,数量不多
没有图片,是不是因为流延导致的一条条纹路?
如果是,应该是设备的刀口问题
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Tomorrow is tomorrow
3楼
2023-08-01 08:44:44
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学员qDJUMA
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虫号: 33843691
注册: 2023-05-29
专业: 半导体材料
照片发不出来,在sem500倍的情况下能看到一道道不均匀分布的裂缝,数量不多
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2楼
2023-07-31 20:22:45
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HerbertHsu
新虫
(著名写手)
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注册: 2019-06-30
专业: 无机材料化学
流延膜厚度?um
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4楼
2023-08-01 20:01:42
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13813921817
木虫之王
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(教授)
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性别: GG
专业: 高分子助剂
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
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2楼
:
Originally posted by
xkkp
at 2023-07-31 20:22:45
照片发不出来,在sem500倍的情况下能看到一道道不均匀分布的裂缝,数量不多
1挤出速度加大,牵引速度减小。
2增加压延机辊数
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5楼
2023-08-02 08:56:41
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