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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射的氧化锌 用万用表测不出电阻 求解答
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新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射的氧化锌 用万用表测不出电阻 求解答 已有3人参与

我用氧化锌吧射频溅射氧化锌。溅射出的氧化锌薄膜，用万用表测不出电阻，完全没有示数。求解答

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1楼 2023-07-23 14:42:20
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没有示数是正常，有示数就不对了。你这个需要做电极才能测出电阻。你这个ZnO你做的是压电性能的吗

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2楼2023-07-23 14:50:46
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
电阻很大吧估计，不在检测范围
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3楼2023-07-23 23:03:46
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复仇的匹诺曹

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
万用表不得行，得用高阻计
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4楼2023-07-24 10:48:40
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研值满分

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2023-07-23 14:50:46
没有示数是正常，有示数就不对了。你这个需要做电极才能测出电阻。你这个ZnO你做的是压电性能的吗

是的，想做压电的。我先溅射一层铜再溅射氧化锌，只有铜是5Ω，加上氧化锌变成20Ω了。只有氧化锌的时候测不出来。

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5楼2023-08-07 15:46:19
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荷叶的四季

新虫 (正式写手)
请问你溅射出来的氧化锌薄膜是什么颜色的？

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6楼2024-01-24 14:56:26
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小吴同学鸭

新虫 (初入文坛)
电阻太大有可能，锌的功率和氧气流量都影响，我测电阻用的四探针

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7楼2024-01-24 22:07:52
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