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PVD以及CVD生长中衬底粗糙度和表面能对生长材料的影响
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请求大神指导一下，CVD,PVD生长中衬底的粗糙度很大导致生长材料时候很难生长出大尺寸的薄层材料，该如何解决一下衬底的粗糙度和表面能对于实验的影响呢？ |
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