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wanghaixi

新虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片切割

如题,在硅片上使用光刻胶制作微流控芯片的流道之后,想要把流道分切成单一的,怎么可以避免切割碎屑污染流道(砂轮和激光都会在最边缘的流道产生碎屑污染,难以祛除)

或者在上下片键合之后再分割小片,怎么能实现上片大而下片小的切割?

请各位专业人士不吝赐教@yswyx
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wanghaixi

新虫 (小有名气)

wanghaixi: 回帖置顶 2023-09-07 14:59:12
本人QQ号  1592412394    随时恭候
2楼2023-06-15 10:15:45
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普通回帖

13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果可以用水刀切割,精度0.1mm。
同样的原理砂轮和激光切割的同时用水冲。
3楼2023-06-15 10:26:17
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wanghaixi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 13813921817 at 2023-06-15 10:26:17
如果可以用水刀切割,精度0.1mm。
同样的原理砂轮和激光切割的同时用水冲。

感谢,会考虑的

发自小木虫IOS客户端
4楼2023-06-15 13:15:15
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wanghaixi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 13813921817 at 2023-06-15 10:26:17
如果可以用水刀切割,精度0.1mm。
同样的原理砂轮和激光切割的同时用水冲。

水刀切割不太适用于这款产品,一是精度稍差了些,二是水流也会污染流道内部
5楼2023-06-15 14:32:18
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wanghaixi

新虫 (小有名气)

没人看到吗    ?       有没有大牛给点提示
6楼2023-06-26 11:26:09
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帮顶一下
7楼2023-06-26 15:18:24
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wanghaixi

新虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 无聊的刁民 at 2023-06-26 15:18:24
帮顶一下

感谢
8楼2023-06-27 15:33:13
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