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twj8356

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】梯度在十个微米的台阶,用什么方法可以制备

我想加工一个厚度梯度为10个微米的系列台阶,每个台阶的宽度在1mm左右,加工区域总面积在半径在1cm之内,加工的材料没有限制,石英,铝片之类都可以,不过每个台阶表面最好能具有比较高的反射率,恳请版内熟悉微加工的朋友指点一二!
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用微电子的方法应该可以,但成本较高
2楼2009-10-13 05:48:55
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twj8356

铜虫 (小有名气)

谢谢回复!
3楼2009-10-26 14:20:10
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