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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于碘和碘化钾溶液刻蚀金
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5464673

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于碘和碘化钾溶液刻蚀金 已有4人参与

最近要用碘和碘化钾溶液刻蚀金，用光刻胶当掩膜，在刻蚀完毕后，胶图形边缘会有2um侧蚀，听说有抑制金属侧向刻蚀的抑制剂，是什么成分呀？

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1楼 2023-05-21 11:41:30
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小马驹的忧伤

新虫 (小有名气)
★
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怎么不用刻蚀机，干法刻蚀金

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2楼2023-10-31 07:07:29
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小马驹的忧伤

新虫 (小有名气)
可提供干法刻蚀

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3楼2023-11-21 11:12:06
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5464673

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小马驹的忧伤 at 2023-11-21 11:12:06
可提供干法刻蚀

有干法刻蚀机，但是干法刻蚀后，胶存在变性难去等问题，而且效率低下，湿法适用于大批量生产。

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4楼2023-11-23 10:53:54
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冰糖沙橘

铜虫 (小有名气)
★
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加入表面活性剂试一试
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5楼2024-02-19 16:09:17
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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
离子铣
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宁毁千座庙不坏一桩姻！
6楼2024-02-20 14:06:57
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微纳材料

新虫 (小有名气)
★
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线宽线距是多少，2-4μm厚的话可以考虑用感光金浆，不用蚀刻
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7楼2024-04-23 16:20:55
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