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光ing

铜虫 (小有名气)

[交流] 一维周期线栅 已有1人参与

这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下,线栅的横截面呈梯形,它位于衬底上,被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。
一维周期线栅
光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。
一维周期线栅-1
S偏振光照明的近场强度
一维周期线栅-2
P偏振光照明的近场强度

后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。

参数扫描

Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表,显示了反射和透射衍射级次的强度:
一维周期线栅-3

在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时,线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系:

一维周期线栅-4

一维周期线栅-5
1.2.png
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siyu_minji

铁虫 (初入文坛)

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
您好,我能向您要一份JCMsuite软件的安装包吗,这是我的邮箱siyuzhang@hust.edu.cn
2楼2025-02-05 22:02:28
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