| 查看: 541 | 回复: 4 | |||
| 当前主题已经存档。 | |||
zcq4891木虫 (小有名气)
|
[交流]
【讨论】做磁控溅射的虫友交流一下
|
||
|
我实验室采用的是中频磁控溅射设备。该设备不像学校实验室里的设备的磁控靶材那么小。因为我们的设备是公司做产品研发用的，靶材是长方型，尺寸为550*110mm。 目前我遇到的问题是：通入氩气达到设定的工作压力，并且基本稳定后，开始溅射。此时工作压力示数就开始变化，一般是变小很多，不能反映真实的溅射室气体压力。关闭溅射后，示数会回升，但是基本达不到之前设定的值，因此我总是无法确定样品是否在稳定的工作压力情况下溅射。 现在能够想到的两种影响情况是：辉光放电影响示数表的示数、中频电源对示数表有影响。我们准备试验中频电源是否产生了影响。 请问各位虫友，你们在溅射实验过程中有没有出现过我遇到的情况？氩气压力在设定之后就一直是稳定的吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
今年E04面上
已经有17人回复
-
2026年面上项目中了，2A+B, 会评顺利通过
已经有10人回复
-
大龄残疾硕士的一点执念
已经有16人回复
-
刑法学论文投稿求助
已经有5人回复
-
Journal of Environmental Chemical Engineering
已经有3人回复
-
最后一年，祈求好运
已经有3人回复
-
风电环氧领域
已经有3人回复
-
售T0P一区SCI文章，我:8O5.51.O.54,科目齐全,可＋急
已经有4人回复
-
植酸TLC薄层色谱爬板
已经有6人回复
木子小木虫
荣誉版主 (知名作家)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 3.279
- 金币: 13826.8
- 散金: 1463
- 红花: 17
- 沙发: 69
- 帖子: 7293
- 在线: 303小时
- 虫号: 801190
- 注册: 2009-06-30
- 专业: 应用有机化学
- 管辖: 论文投稿交流
2楼2009-09-28 15:03:38
WQM-小民哥
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1036.1
- 散金: 311
- 帖子: 270
- 在线: 217.2小时
- 虫号: 826083
- 注册: 2009-08-11
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
3楼2009-09-28 15:51:11
jsszwutao
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6364.6
- 散金: 87
- 帖子: 202
- 在线: 354.3小时
- 虫号: 787367
- 注册: 2009-06-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2009-09-28 16:26:14
tmxkzk
木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1470.3
- 散金: 276
- 红花: 3
- 帖子: 490
- 在线: 253.5小时
- 虫号: 876215
- 注册: 2009-10-18
- 专业: 无机合成和制备化学
5楼2009-12-09 21:45:32