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zcq4891木虫 (小有名气)
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[交流]
【讨论】做磁控溅射的虫友交流一下
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我实验室采用的是中频磁控溅射设备。该设备不像学校实验室里的设备的磁控靶材那么小。因为我们的设备是公司做产品研发用的，靶材是长方型，尺寸为550*110mm。 目前我遇到的问题是：通入氩气达到设定的工作压力，并且基本稳定后，开始溅射。此时工作压力示数就开始变化，一般是变小很多，不能反映真实的溅射室气体压力。关闭溅射后，示数会回升，但是基本达不到之前设定的值，因此我总是无法确定样品是否在稳定的工作压力情况下溅射。 现在能够想到的两种影响情况是：辉光放电影响示数表的示数、中频电源对示数表有影响。我们准备试验中频电源是否产生了影响。 请问各位虫友，你们在溅射实验过程中有没有出现过我遇到的情况？氩气压力在设定之后就一直是稳定的吗？ |
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