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chenfire

木虫 (著名写手)

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[交流] 【讨论】氧化铝模版制备中的击穿问题

氧化铝模版制备过程中，
经常会在边缘位置击穿，
具体现象是电流逐渐增大，
模版局部产生气泡——变黑、击穿。

这种现象好像只在边缘部位出现，
它的根源是什么？

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河北大学-招收化学博士1名已经有0人回复

非淡泊无以明志，非宁静无以致远

1楼 2009-09-28 14:18:26

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hongshaoyu

铁虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

引用回帖:

Originally posted by chenfire at 2009-10-11 00:01:

我感觉散热不良的解释的比较靠谱，我们做阳极氧化的时候，随着温度的升高，氧化电流急剧上升，氧化速度大大加快。我们甚至试过通过周期性改变反应温度，做出来周期性结构的孔洞。
至于阳极氧化过程产生的热量 ...

局部击穿对样品其他地方有没有影响，还是要用实验来检验一下，过几天用AFM看看不同的地方的孔有没有什么区别。

如果没有影响最好了，不然做了几个小时的样万一废了，太可惜了。。。