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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射薄膜和水热生长氧化锌薄膜有什么区别
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（ZZQ）

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射薄膜和水热生长氧化锌薄膜有什么区别 已有1人参与

磁控溅射做出来的氧化锌薄膜10微米厚，做出来没有光致发光了，而水热做出来的就有。有没有了解这两种方法的大神，做出来的膜的内部缺陷会有什么不一样吗？

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1楼 2023-04-11 16:32:45
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乌la

新虫 (初入文坛)
我不太懂这些，不过我能麻烦问下，你做的磁控溅射氧化锌薄膜表面粗糙度如何？

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3楼2023-06-30 00:49:58
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（ZZQ）

新虫 (初入文坛)
有大佬懂的吗？

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2楼2023-04-13 12:40:22
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何处繁华

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

要么是缺陷要么是结晶的问题，这方面可以找一下专门用磁控溅射制备ZnO的文章，
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4楼2023-07-06 23:09:53
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