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taofei

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[交流] 【求助】关于CVD法生产FTO玻璃

用CVD法生产FTO玻璃的时候,一般用什么作为Sn源和F源
我看到有用SnCl4和氟利昂的
请问除了氟利昂以外还有其他什么F源么,最好有相关文献
谢谢大家!
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

★ ★ ★ ★ ★ ★
taofei(金币+5,VIP+0): 9-27 16:58
mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢应助。 9-27 23:41
锡源:锡烷SnH4、四甲基锡Sn(CH3)4、四乙基锡Sn(C2H4)2
氟源:三氟甲烷CHF3、二氟乙烷C2H4F2
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-09-27 16:42:30
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

更正:四乙基锡Sn(C2H5)4
没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-09-27 16:53:39
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