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木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于RTA(快速热处理)的一些问题

做铁电薄膜,用RTA(快速热处理)与常规热处理(CFA)相比,哪个效果好些?
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mse507

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
当然是RTA啦。传统的退火炉做铁电薄膜太不方便了。
2楼2009-09-27 09:15:09
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solgeltech

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用RTA制备铁电薄膜是不错,不过对前驱体溶液的质量提出了更高的要求。
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn www.yuanteksolgel.com
3楼2009-09-27 11:06:25
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