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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射镀铜镀出来的铜膜颜色变成紫黑色了
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duiduizhang

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射镀铜镀出来的铜膜颜色变成紫黑色了

磁控溅射镀铜，镀的铜变成紫黑色了，和铜靶的颜色完全不一样，有没有大神帮忙分析一下原因，功率用的60w，镀膜时间15min
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1楼 2023-03-30 18:44:47
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YLWL6666

木虫 (正式写手)
查查氩气流量？检查镀仓真空镀看看
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1、个人微信公众号：老伙计的况味人生；2、PET复合铜箔、铝镀铜专业生产；
2楼2023-04-10 13:36:50
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研值满分

新虫 (小有名气)
楼主解决了吗。我也有这个问题，溅射出的颜色偏黑色，且每次溅射后靶材中心都会变黑
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3楼2023-07-22 14:54:24
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