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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】【求助】不同晶向的单晶硅腐蚀得到纳米级金字塔的问题
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主

[交流] 【求助】【求助】不同晶向的单晶硅腐蚀得到纳米级金字塔的问题

【求助】不同晶向的单晶硅腐蚀得到纳米级金字塔的问题
记得之前看过此类的文章，在111单晶硅片上用含HF的溶液腐蚀，得到大面积的纳米金字塔，本是用于减反，不知能否提供文献，讨论一下问题，
1 纳米金字塔的形貌，均已性
2 腐蚀液的配方及其腐蚀速率等信息
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从此不问江湖事
1楼 2009-09-24 17:40:36
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
GrasaVampiro(金币+10,VIP+0): 9-24 13:50
纳米级金字塔比较难呀。通过HF酸或NaOH溶液等腐蚀出来的硅绒面太阳能电池的金字塔都比较大，10几微米的都有。也许腐蚀液浓度低一些，腐蚀时间短一些会做出来纳米级的。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-09-24 18:10:02
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
小于一微米的有吗？要求均匀性好些，做拿来做模板
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从此不问江湖事
3楼2009-09-24 18:51:47
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
GrasaVampiro(金币+20,VIP+0):有文献可参考吗？重谢 9-25 14:38
一般是通过改进的RCA清洗后，用IPA和KOH或NAoH的混合液腐蚀，金字塔结构大小在微米级范围内，若腐蚀时间太短，不能形成连续的金字塔结构，要做纳米金字塔的形貌，均已性的，可能时间、浓度、溶液配比等因素要求苛刻一些，具体结果有待实验验证。
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4楼2009-09-25 14:53:18
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andyzhao5858

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
GrasaVampiro(金币+20,VIP+0): 9-26 10:28
A simple and cost-effective approach for fabricating pyramids on crystalline silicon wafers.我不会传大文件,你自己到网上下载吧,这是文章题目

[ Last edited by andyzhao5858 on 2009-9-26 at 17:10 ]
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5楼2009-09-26 17:00:49
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
这个不错了
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6楼2009-09-26 18:40:36
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GrasaVampiro

专家顾问 (职业作家)

微信XGBerlin

优秀版主
均匀性还是很差，继续问
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从此不问江湖事
7楼2009-09-30 01:03:18
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manmansboy

专家顾问 (正式写手)

黄金矿工
纳米级的，有技术难度。
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浆料圈 silverpaste@qq.com 18068297665
8楼2009-10-23 15:18:21
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