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【求助】【求助】不同晶向的单晶硅腐蚀得到纳米级金字塔的问题
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【求助】不同晶向的单晶硅腐蚀得到纳米级金字塔的问题 记得之前看过此类的文章，在111单晶硅片上用含HF的溶液腐蚀，得到大面积的纳米金字塔，本是用于减反，不知能否提供文献，讨论一下问题， 1 纳米金字塔的形貌，均已性 2 腐蚀液的配方及其腐蚀速率等信息 |
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qfw_68
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andyzhao5858
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8楼2009-10-23 15:18:21
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