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dyb0525

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】醋酸锌能作为化学气相沉积法制备ZnO薄膜的锌源吗?

“化学气相沉积法生长ZnO薄膜最常用的高纯金属有机化合物是二甲基锌(DMZn)和二乙基锌(DEZn)”,醋酸锌能行吗?选择锌源时都应考虑哪些因素?
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

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dyb0525(金币+5,VIP+0): 9-22 20:29
dyb0525(金币+5,VIP+0): 10-22 21:02
应该可以。选择金属有机源(MO源)主要考虑:1、饱和蒸汽压合适;2、容易裂解;3、不会带来额外的杂质。从第三点来看,醋酸锌含氧,如果前两点也满足,那应该是不错的锌源。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-09-21 19:47:16
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