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【求助】反应烧结SiC的真空炉的保养问题。
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由于是Si气氛，要腐蚀石墨加热件和碳毡保温层。 或是沉积在加热件接点的绝缘件上，影响加热件与炉壳的绝缘电阻 真空炉经常出问题， 修起来真是痛苦啊。 不知道各位有什么好的经验啊？ |
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2楼2009-09-18 21:45:03
3楼2009-09-18 23:35:20
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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……匣钵是不能完全密封，但是您的试验是在一定真空下完成的还是常压气氛呢？ 前者的话基本不用考虑匣钵，没有什么意思，并且si和载气在相对真空的环境里是沿着气道流动的可以安装一套石墨内膛…… 如果常压，并且粉末或者前驱体的话……匣钵整一大一小，小的装料，然后放入大的，在大小匣钵剩余空间埋粉，“si气”出来可以吸附到粉里！ 匣钵还有个另类办法：加工时，附带带螺纹的盖子和匣钵配合（桶状的哦），螺纹长可以长一些，在桶顶用石墨纸作为“密封”，用的时候盖子拧个大概紧，升温后利用石墨本身热膨胀，可以达到一定密封作用！！！ 个人心得，仅供参考…… |
4楼2009-09-19 16:43:06
houlucky
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5楼2009-11-05 17:26:38