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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【讨论】透明导电薄膜的结晶性能？
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yylltt

木虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】透明导电薄膜的结晶性能？

透明导电薄膜要求高的导电性和透光性，对应提高导电性，那么到底是结晶性强的薄膜好还是无定形薄膜好，另外，对于载流子密度和霍尔迁移率，哪个对提高导电性具有决定作用？
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1楼 2009-09-18 15:58:43
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yylltt

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by icwafer at 2009-9-21 17:08:
好像ZnInGaO，是非晶TCO薄膜。一般做的是多晶，单晶要是很容易生长就爽了。
非晶的不多；
载流子是主导，迁移率变化不大。二者有一定联系。

我看的非晶就是ZnInGaO
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8楼2009-09-22 02:28:36
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★ ★
yylltt(金币+3,VIP+0): 9-18 17:42
结晶性好的薄膜吧，一般单晶薄膜的迁移率大点。对于半导体少量掺杂对霍尔迁移率的影响并不是非常大，但载流子密度却有量级的改变。应该说两个参数都很重要
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2楼2009-09-18 17:30:25
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yylltt

木虫 (正式写手)
最近看一些文献却是amorphous的薄膜能获得更好的导电性，本来就刚接触这方面的东西，所以比较糊涂。
另外，载流子密度应该和迁移率综合作用导致导电性增强，并不是两者越大越好。
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3楼2009-09-18 17:48:32
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305378983

铁虫 (小有名气)
最近看一些文献却是amorphous的薄膜能获得更好的导电性，本来就刚接触这方面的东西，所以比较糊涂。
另外，载流子密度应该和迁移率综合作用导致导电性增强，并不是两者越大越好。 ----------------------------------------------------------------------------------------------
------发个这方面的文献号吗 ？我怎么没有发现 ，但搞不懂你所的非晶到点好的原因
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5楼2009-09-21 14:43:27
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