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yylltt

木虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】透明导电薄膜的结晶性能?

透明导电薄膜要求高的导电性和透光性,对应提高导电性,那么到底是结晶性强的薄膜好还是无定形薄膜好,另外,对于载流子密度和霍尔迁移率,哪个对提高导电性具有决定作用?
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yylltt

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by icwafer at 2009-9-21 17:08:
好像ZnInGaO,是非晶TCO薄膜。一般做的是多晶,单晶要是很容易生长就爽了。
非晶的不多;
载流子是主导,迁移率变化不大。二者有一定联系。

我看的非晶就是ZnInGaO
8楼2009-09-22 02:28:36
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

★ ★ ★
yylltt(金币+3,VIP+0): 9-18 17:42
结晶性好的薄膜吧,一般单晶薄膜的迁移率大点。对于半导体少量掺杂对霍尔迁移率的影响并不是非常大,但载流子密度却有量级的改变。应该说两个参数都很重要
2楼2009-09-18 17:30:25
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yylltt

木虫 (正式写手)

最近看一些文献却是amorphous的薄膜能获得更好的导电性,本来就刚接触这方面的东西,所以比较糊涂。
另外,载流子密度应该和迁移率综合作用导致导电性增强,并不是两者越大越好。
3楼2009-09-18 17:48:32
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305378983

铁虫 (小有名气)

最近看一些文献却是amorphous的薄膜能获得更好的导电性,本来就刚接触这方面的东西,所以比较糊涂。
另外,载流子密度应该和迁移率综合作用导致导电性增强,并不是两者越大越好。 ----------------------------------------------------------------------------------------------
------发个这方面的文献号吗 ?我怎么没有发现 ,但搞不懂你所的非晶到点好的原因
5楼2009-09-21 14:43:27
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