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rainbow0912

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[求助] 光刻胶曝光的梯形问题，还请大神们指点！！！

请教大神们一个基础的原理性问题，正胶曝光的时候为什么会形成正梯形？掩膜版和光刻胶之间的gap又是怎么影响梯形的形成的？形成了正梯形一般会从哪几个方向改善呢？

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1楼 2023-02-09 11:07:40

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