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rainbow0912

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶曝光的梯形问题,还请大神们指点!!!

请教大神们一个基础的原理性问题,正胶曝光的时候为什么会形成正梯形?掩膜版和光刻胶之间的gap又是怎么影响梯形的形成的?形成了正梯形一般会从哪几个方向改善呢?
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