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【求助】硅烷中杂质气体的分析方法和仪器
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硅烷中杂质气体的分析方法和仪器 SiH4和H2混合气体中(体积百分浓度均为百分之几十)的Si2H6，B2H6，AsH3，PH3，NH3五种主要杂质,最低检测限为10ppb, CH4，CO，CO2次要检测对象，检测限为0.1ppm. 请问大家,应该采用什么检测方法, 麻烦帮忙推荐能够分析上述样品的分析仪器,多谢了! |
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2楼2011-03-15 12:43:42
zh_ken
金虫 (小有名气)
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3楼2011-03-16 14:43:05