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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 铁电材料HfZrO2不同退火氛围的影响
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灬猫熊''

铁虫 (小有名气)

[求助] 铁电材料HfZrO2不同退火氛围的影响

请问不同的退火氛围，比如Ar或者N2，对HfZrO2薄膜的铁电性有影响吗？
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世界很小，而你刚好发光
1楼 2022-11-07 16:50:30
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酩酊d

新虫 (初入文坛)
只用过N2，既然N2没问题，我想Ar也不会有啥问题，我的经验是退火之后quench的速度比较关键，越快越好

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2楼2023-02-11 14:29:58
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