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Materials & Interfaces (5ƪ)£¬Nanoscale (2ƪ)µÈ¹ú¼ÊÖØÒªÆÚ¿¯ÉÏ¡£ÆäÖУ¬NatureÖ¸ÊýÆÚ¿¯ÂÛÎÄ11ƪ£¬ESIǰ1%¸ß±»ÒýÂÛÎÄ9ƪ£¨º¬Ç°0.1%ÈȵãÂÛÎÄ2ƪ£©£¬Ó°ÏìÒò×Ó´óÓÚ10ÂÛÎÄ45ƪ£¨º¬Ó°ÏìÒò×Ó´óÓÚ30ÂÛÎÄ3ƪ£©£¬·âÃæÂÛÎÄ2ƪ¡£ÂÛÎı»ËûÒý¹²7000Óà´Î£¬µ¥Æª±»ËûÒý´óÓÚ200´ÎÂÛÎÄ7ƪ£¬HÖ¸ÊýΪ37¡£»ñÊÚȨÖйú·¢Ã÷רÀû15Ï¾ùΪµÚÒ»·¢Ã÷ÈË£©¡£ ¼±Ðè¸Úλ£ºÌØÆ¸¸±Ñо¿Ô±/ʦ×ʲ©Ê¿ºó Ä⿪չµÄÑо¿·½Ïò£ºÌ¼»ù΢»úµçϵͳµÄ΢ÄÉÖÆÔìÓë΢Äɼ¯³ÉÆ÷¼þ£»Î¢ÄÜÔ´Æ÷¼þÓëÆ¬Éϼ¯³ÉϵͳµÄ΢ÄÉÖÆÔì¡¢¹¹Öþ²ßÂÔ¼°ÊäÔËÓÅ»¯»úÖÆ£»¹èÓë·Ç¹èÈںϵÄ΢С»úе¹¹ÔìºÍÎïÐÔñîºÏ¡£ ÐèÇóרҵ£º»úе¹¤³Ì¡¢Î¢µç×Ó¡¢ÎïÀí¡¢²ÄÁÏ¿ÆÑ§¡¢»¯Ñ§¡¢»¯Ñ§¹¤³Ì¡¢ÒÇÆ÷µÈÏà¹Ø×¨ÒµÓÅÏÈ¡£ ¿ÎÌâ×é×ÉѯÓÊÏ䣺hel20@scu.edu.cn ÁªÏµÈË£ººÎÁÁÀÏʦ 9.΢»úµçϵͳ£¨MEMS£©ÓëÒ½ÁƼì²âоƬÑз¢ÍŶӣ¨¸ºÔðÈË£ºÍõÖñÇä½ÌÊÚ£© 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