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小白zhen菜新虫 (小有名气)
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[交流]
关于旋涂制膜的玄学 已有1人参与
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请问三氟乙酸对硅片影响大吗？ 我在旋涂过程中先把硅片空转几次就会旋涂出来很均匀的膜（猜测可能是腔内有挥发的三氟乙酸气氛），可是当把硅片密封在三氟乙酸的培养皿内后，再去旋涂，硅片上面基本上留不下膜？这是什么原因呢？？ 请大神指导。 发自小木虫IOS客户端 |
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