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zhaozhou1

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为什么退火后感觉像是金电极掉了
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我的硅片做完离子注入后。做了蒸发电极，Ti+Au。然后在350℃下退火，看着像是金掉了一样，然后我又用普通裸硅片溅射了电极，还是Ti+Au，退火，感觉还是像金掉了一样，请问有人知道为什么吗，怎么解决呢？

为什么退火后感觉像是金电极掉了


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1楼 2022-08-09 10:25:55
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tzynew2楼
2022-08-09 10:26   回复  
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XG-WUST3楼
2022-08-09 10:30   回复  
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徐志敏2H4楼
2022-08-09 10:41   回复  
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云在青天5楼
2022-08-09 10:48   回复  
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shanfei126楼
2022-08-09 10:51   回复  
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