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zhaozhou1

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为什么退火后感觉像是金电极掉了
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我的硅片做完离子注入后。做了蒸发电极,Ti+Au。然后在350℃下退火,看着像是金掉了一样,然后我又用普通裸硅片溅射了电极,还是Ti+Au,退火,感觉还是像金掉了一样,请问有人知道为什么吗,怎么解决呢?

为什么退火后感觉像是金电极掉了


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tzynew2楼
2022-08-09 10:26   回复  
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XG-WUST3楼
2022-08-09 10:30   回复  
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2022-08-09 10:41   回复  
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2022-08-09 10:48   回复  
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shanfei126楼
2022-08-09 10:51   回复  
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