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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 有关光刻胶中的性能指标解析
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zhaozq520

银虫 (正式写手)

[求助] 有关光刻胶中的性能指标解析 已有1人参与

各位虫友们，光刻胶中"Sub reflectivity"该怎么去理解呢？有文献或者出处最好了
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勤能补拙
1楼 2022-08-08 19:08:47
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhaozq520: 金币+10, ★★★★★最佳答案, 嗯嗯 2022-08-09 17:15:08
基底反射率。光刻胶的烘烤技术 https://www.docin.com/p-1924783174.html
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2楼2022-08-09 09:53:20
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