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[交流]
原子层沉积工艺及装备交流
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| 本人在用原子层沉积制备氧化物的时候发现氧化物很容易制备出高性能的介质材料，但是制备氮化物，特别是大尺寸的容易出现均匀性问题，请问氮化物的制备工艺应该注意什么，欢迎讨论ALD工艺技术及装备 |
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8楼2022-08-09 15:00:50
简单回复
2022-08-08 17:00
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vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2022-08-08 17:01
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oo 发自小木虫Android客户端
2022-08-08 17:22
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yes 发自小木虫Android客户端
2022-08-08 17:57
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xiejf6楼
2022-08-08 20:40
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祝福 发自小木虫Android客户端
jiaoxg7楼
2022-08-09 10:18
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假大空9楼
2022-08-09 16:09
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