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原子层沉积工艺及装备交流
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vuyv3370
新虫
(正式写手)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 9.5
帖子: 466
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虫号: 23747183
[交流]
原子层沉积工艺及装备交流
本人在用原子层沉积制备氧化物的时候发现氧化物很容易制备出高性能的介质材料,但是制备氮化物,特别是大尺寸的容易出现均匀性问题,请问氮化物的制备工艺应该注意什么,欢迎讨论ALD工艺技术及装备
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2022-08-08 16:40:02
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su183
新虫
(小有名气)
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(幼儿园)
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在线: 10.4小时
虫号: 29472969
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vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
最好加loadlock 等离子体,此外对真空度要求也比较高,
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8楼
2022-08-09 15:00:50
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miaojiabing
2楼
2022-08-08 17:00
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vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
tzynew
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2022-08-08 17:01
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oo
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chenhuanlong
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2022-08-08 17:22
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yes
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xiaoqiuqiu20
5楼
2022-08-08 17:57
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vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
xiejf
6楼
2022-08-08 20:40
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祝福
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jiaoxg
7楼
2022-08-09 10:18
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假大空
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2022-08-09 16:09
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