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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积工艺及装备交流
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vuyv3370

新虫 (正式写手)

[交流] 原子层沉积工艺及装备交流

本人在用原子层沉积制备氧化物的时候发现氧化物很容易制备出高性能的介质材料，但是制备氮化物，特别是大尺寸的容易出现均匀性问题，请问氮化物的制备工艺应该注意什么，欢迎讨论ALD工艺技术及装备
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1楼 2022-08-08 16:40:02
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su183

新虫 (小有名气)
★
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
最好加loadlock 等离子体，此外对真空度要求也比较高，
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8楼2022-08-09 15:00:50
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miaojiabing2楼
2022-08-08 17:00   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
tzynew3楼
2022-08-08 17:01   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
oo 发自小木虫Android客户端
chenhuanlong4楼
2022-08-08 17:22   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
yes 发自小木虫Android客户端
xiaoqiuqiu205楼
2022-08-08 17:57   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
xiejf6楼
2022-08-08 20:40   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫Android客户端
jiaoxg7楼
2022-08-09 10:18   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
假大空9楼
2022-08-09 16:09   回复  
vuyv3370(金币+1): 谢谢参与
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