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北遥姑娘

新虫 (小有名气)

[求助] 除去化学机械抛光过程中残留的二氧化硅

求助!用什么方法可以除去化学机械抛光过程中残留在抛光垫上的二氧化硅呢?
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fandyu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
北遥姑娘(wolfghost代发): 金币+5, 有效应助奖励~ 2022-11-29 15:11:58
wolfghost: 博学EPI+1 2022-11-29 15:12:04
抛光垫什么材质,如果跟碱不反应就可以用氢氧化钠溶液洗,如果跟酸不反应就可以用氢氟酸洗,洗完后都有清水冲洗就行了
2楼2022-08-09 13:21:56
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