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199aaa

新虫 (正式写手)

[交流] 薄膜生长

请问做硅基芯片的同仁,国内哪些平台可以做PECVD teos film呀? 我们课题组想生长SiO2

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新虫 (初入文坛)

硅烷和笑气不行吗?
2楼2022-12-01 17:28:50
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