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199aaa

新虫 (正式写手)

[交流] 薄膜生长

请问做硅基芯片的同仁，国内哪些平台可以做PECVD teos film呀？ 我们课题组想生长SiO2

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1楼 2022-08-03 14:13:15
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835257303

新虫 (初入文坛)
硅烷和笑气不行吗？
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2楼2022-12-01 17:28:50
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