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求助，大家室温下磁控溅射iTo薄膜电阻率最低能做到多少啊已有5人参与
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我无论怎么做最低电阻率也只能做到2.5Ω· cm 我的实验条件是在纯氩气下120W功率0.3~1.5pa的条件下溅射 发自小木虫IOS客户端 |
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