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关于剥取沉铜层的方法 已有1人参与
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本人目前正在做有关沉铜层性能测试的研究，但是遇到了一些操作的问题。研究目标的沉铜层仅几百纳米厚，为了进行拉力测试需要将其剥取下来。 因为沉铜的过程是在工厂产线做的，所以过程中不能让沉铜层掉落污染设备，要求结合较好。但是结合力太好又会使得沉铜层难以剥取，结合好和好剥取本身是矛盾的。我试过钢板、钛板做基底，结合力都太好了无法剥取。 我曾经试想过用其他基底，然后用化学方法去除基底，但是微纳级的铜太过脆弱不能用酸碱之类的进行处理。目前想要使用玻璃板，但是害怕玻璃太光滑会在沉铜过程中污染设备。 请问大家有没有什么方法可以解决这个问题，比如在基底和沉铜层之间加一层隔离层之类的，这个隔离层结合力较好但是可以后期去除。或者有某种更好的基底可以兼顾二者？ 注:沉铜后为模拟产线的步骤会对样品加热到160℃，所以基底和隔离层之类的都要能承受160℃的温度。 发自小木虫Android客户端 |
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