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niu_yt

新虫 (初入文坛)

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[求助] parylene 沉积裂解区管壁有黑色脏物，求助是啥原因导致的

CVD沉积parylene C的时候，在裂解区的管壁上总是有黑色脏物沉积（通过后续空气中加热可以去除），但想请教下有经验的虫友们这个黑色脏物是什么原因导致的，会影响最终parylene C薄膜的性能吗？

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1楼 2022-07-29 22:51:57

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