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偶贝的

铜虫 (初入文坛)

[求助] 怎么生长1.5nm左右厚度的Al2O3薄膜？

大家知道怎么生长1.5nm左右厚度的Al2O3吗？   直接生长是不是会有不容易成膜的问题呀
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1楼 2022-07-11 12:59:10
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Foxicut88

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
偶贝的(qfw_68代发): 金币+5 2023-06-05 10:48:34
qfw_68: 博学EPI+1, 积极应助奖励！ 2023-06-05 10:48:58
用ALD长，用椭振测厚度，如果厚了用离子刻蚀刻薄，如果一不小心过刻，循环。
别问我怎么知道的，太难了，这一堆参数要调整。。。
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5楼2023-05-27 22:43:42
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winlog

金虫 (小有名气)
★ ★
wolfghost: 金币+2, 积极应助奖励~ 2022-09-18 23:46:54
电镀铝膜再剥落可以不？
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2楼2022-07-11 14:20:17
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DeyuanLyu

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励~ 2022-12-24 22:02:07
Al2O3应该不难长，磁控溅射就行。
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3楼2022-12-18 16:21:11
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gaoustc

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
wolfghost: 金币+2, 有效应助奖励~ 2022-12-24 22:01:46
wolfghost: 博学EPI+1 2022-12-24 22:02:17
ALD，MBE，PLD.......方法很多
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2022-12-21 13:07:09
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