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HiPIMS高压脉冲电源使用小技巧
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新铂科技，聚焦高能等离子体表面工程硬件和工艺。 问：HiPIMS电源怎么调节参数？ 答：使用示波器测试电流波形 根据峰值电流大小，判断脉宽；设定好脉宽，再提高输出参数和增加频率，来增加功率，适当时可以小幅值增加脉宽。 问：HiPIMS负载线注意事项？ 答： 一、电源输出线离腔体尽量近，电源线尽量短 为了保证脉冲电流波形引入到真空腔体时波形不畸变，且衰减小。期望在系统中，脉冲电镀电源与真空腔体的距离2-3m为佳。长线易对脉冲电流波形的上升、下降沿产生较大的影响，真空腔体打火时，灭弧效果有影响。 二、正负极导线使用同轴线缆或者双绞屏蔽 脉冲电源的输出衔接，导线间的电感效应越小越好。因而阴、阳极导线最好的办法就是同轴无感线缆。但为了省成本和线径的考虑，也可使用两根线缆高密度双绞走线，并在外层套密的金属织网屏蔽层，屏蔽层接良好的静电地，减少对外围设备的干扰。 三、线缆线径的选择 由于是脉冲电源，为了避免趋肤效应，在导线挑选时，应挑选多股芯线作脉冲电源到真空腔体靶极的连接线。多股芯线绞织，其间的线电容能够抵消其电感效应。导线的线径一定要满足其通过的平均额定电流，且耐压值高于脉冲输出电压。由于脉冲电流的电流密度要比均匀电流的电流密度几十倍甚上百倍，因而有必要考虑能接受脉冲电源的电流所发生的电流热效应，以保证避免电流产生的高温，损伤线缆，避免出现安全事项，同时也减少线缆损耗。 举例：脉冲电流为1000A，占空比为1~10%，其均匀电流最大约为100A，而额定电流为：(1000×10%)×1.2≈120A，铜导线导电电流计算公式为（线径*3~10A）在挑选导线时，最好挑选超过25平方毫米的铜导线（25*5=125A）。一般铜线线径与电流常用的换算方法是： 图片 2.5 平方毫米铜电源线的安全载流量--28A； 4平方毫米铜电源线的安全载流量--35A； 6平方毫米铜电源线的安全载流量-- 48A； 10平方毫米铜电源线的安全载流量-- 65A； 16 平方毫米铜电 源线的安全载流量-- 91A； 25平方毫米铜电源线的安全载流量-- 120A； 35平方毫米铜电源线的安全载流量-- 125A； 估算口诀: 二点五下乘以九,往上减一顺号走。 三十五乘三点五,双双成组减 条件有变加折算,高温九折铜升级 穿管根数二三四,八七六折满载流。 |
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