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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 磁控溅射
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子扬搞科研

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射

用磁控溅射在锆基上镀铬，100w，1.2薄膜规镀了六个小时，镀完后膜表面平整，但第二天早上发现薄膜起皱破裂，请问该如何改善?

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1楼 2022-06-29 15:22:51
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QJiang

铁杆木虫 (著名写手)

搞学术的帅比
Cr的应力太大了，可以速度慢一点儿，或者退火处理

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fighting...
2楼2022-06-29 22:17:02
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子扬搞科研

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by QJiang at 2022-06-29 22:17:02
Cr的应力太大了，可以速度慢一点儿，或者退火处理

我们原本认为是沉积温度的影响，导致成膜质量差，但是设置300℃的沉积温度后，反而溅射一个半小时膜就开始起皮了。

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3楼2022-07-09 09:56:23
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
六个小时。。。
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
4楼2022-07-19 15:17:49
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