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QBT-A 双腔室高真空等离子体ALD系统真空度可达5E-7Torr,该系统具有两个腔室包括进样室和ALD Loadlock,具有晶元載盘、全自动温度控制、ALD前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制,以及等离子体,原位RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱等设计选项。可沉积超导NbN,TiN,SiO2,Si3N4,Ni,Pt等薄膜
如有需要欢迎联系,苏:18396591470
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