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su183

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等离子体原子层沉积系统
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QBT-A 双腔室高真空等离子体ALD系统真空度可达5E-7Torr，该系统具有两个腔室包括进样室和ALD Loadlock，具有晶元載盘、全自动温度控制、ALD前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制，以及等离子体，原位RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱等设计选项。可沉积超导NbN，TiN，SiO2，Si3N4，Ni，Pt等薄膜
如有需要欢迎联系，苏：18396591470

等离子体原子层沉积系统


等离子体原子层沉积系统-1


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1楼 2022-06-24 11:06:50
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kyxzyq2楼
2022-06-24 11:07   回复  
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dingxiaojun3楼
2022-06-24 11:09   回复  
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tzynew4楼
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huage65楼
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AI储6楼
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lidanwang7楼
2022-06-24 11:22   回复  
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毕格不拉稀8楼
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云在青天9楼
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longwave10楼
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ndzhy11楼
2022-06-24 11:49   回复  
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