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工作气压2.2pa ,本底真空度10-4,工作真空度5×10-1,氩气流量40,电压400左右,电流80左右,偏压40(200时起辉消失)。起辉但镀不上膜,是什么原因呢?盼大佬回复
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工作气压2.2pa ,工作真空度5×10-1?
这都是啥?能详细说说这俩啥区别么
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tzynew
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