【请教】ITO陶瓷靶材如何腐蚀 - 无机非金属 - 陶瓷材料 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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aftergodme

金虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 其他无机非金属材料

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非常同意,楼上两位所说,开一个靶材和镀膜的专区最好了

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11楼2009-09-11 11:08:53

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haimenly

铜虫 (小有名气)

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注册: 2009-08-28
专业: 玻璃材料

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强烈建议设立ITO、AZO靶材专版扩大交流范围！ dddddd

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12楼2009-09-11 14:19:55

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纳兰迷

银虫 (初入文坛)

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专业: 半导体材料

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这个我做过，说老实话对ITO靶材腐蚀真的很难，用化学方法不太可行，如果用热刻蚀的话又因为三氧化二铟易挥发分解，一般来说我们热刻蚀要选在比烧结温度低个两三百度，不知道你的ITO靶材的用什么烧结方法得到的。

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13楼2009-09-17 22:47:29

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wmk176

银虫 (正式写手)

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专业: 零件成形制造

烧结的吧
热刻蚀原料是什么呐

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14楼2009-09-17 23:05:07

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