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wmk176

银虫 (正式写手)

[交流] 【请教】ITO陶瓷靶材如何腐蚀

那位虫友做ITO陶瓷靶材,想看靶材的组织形态,如何进行腐蚀!陶瓷的耐腐蚀性一般都很强,
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纳兰迷

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
这个我做过,说老实话对ITO靶材腐蚀真的很难,用化学方法不太可行,如果用热刻蚀的话又因为三氧化二铟易挥发分解,一般来说我们热刻蚀要选在比烧结温度低个两三百度,不知道你的ITO靶材的用什么烧结方法得到的。
13楼2009-09-17 22:47:29
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拓荒者3785

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
你是要看断面吧
断面的话,大概腐蚀一下就可以,不用考虑太多
2楼2009-09-10 14:39:24
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wmk176

银虫 (正式写手)

是看断面 那要用什么腐蚀呐
3楼2009-09-10 15:52:57
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aftergodme

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
ITO靶材很难腐蚀,所以回收废靶材时也比较费劲,直接切成断面不行吗?
4楼2009-09-10 15:59:06
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