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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于氮化铝、氧化铝研磨抛光问题
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鲜芋奶茶

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于氮化铝、氧化铝研磨抛光问题

想要把表面粗糙度加工到10nm以内
使用500nm金刚石研磨液加工后，氧化铝材料粗糙度在10nm左右，采用更细粒度金刚石研磨表面质量反而大幅度降低是怎么回事？
关于氮化铝材料 材料去除率随研磨盘转速的增加而大幅度降低 和Preston公式的结论相反 这是什么原因造成的呢
有没有做相关研究方向的小伙伴交流讨论一下 谢啦~
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1楼 2022-05-30 16:04:34
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chenhuanlong

禁虫 (文学泰斗)
★
鲜芋奶茶(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
3楼2022-06-01 20:01:23
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辛壬居士

至尊木虫 (知名作家)
★
鲜芋奶茶(金币+1): 谢谢参与
更细粒度的金刚石粉容易团聚？

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5楼2022-10-17 23:36:01
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