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xrd探测深度模拟软件
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金属材料专业,xrd小角度薄膜法测薄膜厚度。但是我不知道掠入角和元素和膜层厚度的关系,有什么软件可以模拟掠入角和元素和膜层厚度之间的关系吗? 最终就是我要知道,我要测某种元素所构成的一定厚度的薄膜,采用多大的掠入角,才能刚刚打穿这个深度? 有大佬知道的话,望告知一下,谢谢。 |
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