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台式原子层沉积系统
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Mini Desktop ALD 厦门韫茂科技有限公司研发生产的桌式原子层沉积系统是目前已知世界上最小的原子层沉积设备，尺寸仅为500*400*400mm，小巧的机身下集成了ALD强大的功能，可集成QCM，臭氧发生器，RGA，手套箱等设计选项，设备可在4寸晶圆和微纳米粉体上实现均匀可控的原子层沉积，具有广泛应用，设备配有独立控制的300℃完整加热反应腔体系统，保证了工艺温度均匀，同时该系统还具有晶圆载盘，全自动温度控制阀，工业级安全控制等，设备操作十分简单，学习半个小时就能实现上手操作，设备性价比极高，非常适合于TEM实验室，是先进能源材料，新型纳米材料研究与应用的最佳研发工具！   发自小木虫Android客户端 |
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