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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 硅片清洗，去损伤层
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paederus

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片清洗，去损伤层

请问硅片去损失层和rca清洗，哪个步骤在前面啊？因为我买的硅片质量较差，去损伤层的时候，溶液直接变黄，应该是铁离子导致的，，但这样的话，硅片直接去了一层，那我还有必要进行rca吗？另外sc2溶液原理上是hcl去除金属离子，但为什么我泡了50分钟还是不变色呀。

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1楼 2022-05-10 10:26:26
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