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【请教】请教有关薄膜电导率测试？
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我在玻璃和硅片上镀了硅薄膜，然后直接用电极靠在薄膜表面上测试其电导率。 请问这种方法是不是不太可行啊，是不是在其同一表面上镀制两个电极会更好，测试结果也会有所不同？ 或者通过在导电玻璃上镀膜后进行电导率测试会更好？ 测出来玻璃基体的硅薄膜电导率在 5E-6(-7)/欧姆.厘米 左右，而硅片上的硅薄膜电导率则在 5E-2/欧姆.厘米左右（同一炉样品）。其中硅片基体上薄膜测出来的伏安特性曲线是曲线，不完全是斜线。 |
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ymmiskobe
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5楼2009-09-10 13:16:29
