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worry

[交流] 【请教】请教有关薄膜电导率测试?

我在玻璃和硅片上镀了硅薄膜,然后直接用电极靠在薄膜表面上测试其电导率。
请问这种方法是不是不太可行啊,是不是在其同一表面上镀制两个电极会更好,测试结果也会有所不同?
或者通过在导电玻璃上镀膜后进行电导率测试会更好?

测出来玻璃基体的硅薄膜电导率在 5E-6(-7)/欧姆.厘米 左右,而硅片上的硅薄膜电导率则在 5E-2/欧姆.厘米左右(同一炉样品)。其中硅片基体上薄膜测出来的伏安特性曲线是曲线,不完全是斜线。
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worry

re: ymmiskobe

谢谢大家啊,
恩 我用过四探针法直接测过 估计是薄膜电导率太小了 测试的时候方块电阻值一直上升 测不出来
4楼2009-09-08 17:33:22
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ymmiskobe

铜虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
最好在外面刷层Pt或者Ag,然后用四针法(二针肯定不准)或者范德包法
2楼2009-09-08 16:33:27
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clearsky7228

金虫 (正式写手)

翻译联盟


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我们这里是在导电玻璃上镀膜后进行测试的
熟悉科技英语,不懂文学的。Q330949904
3楼2009-09-08 16:40:01
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solgeltech

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
电阻率太大的话 不能使用四探针法


回帖广而告之:溶液法制备铁酸铋、钛酸铋、PZT等薄膜
网站:http://www.yuanteksolgel.com

[ Last edited by solgeltech on 2009-9-12 at 14:06 ]
镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn www.yuanteksolgel.com
5楼2009-09-10 13:16:29
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