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磁控溅射抽真空过程中更换电离规后真空度总是抽不下去是什么原因？ 已有1人参与
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磁控溅射时原先的电离规时常出现超量程或者反复波动或者电离规时开时关现象，更换电离规后抽真空时间特别特别特别慢，真空度总是抽不下去，用酒精注射未发现真空度升高现象，用没换之前的电离规重复试了下，虽然过程中出现完全打开主阀后示数直接变成1.0*10-4Pa，后面波动后又能慢慢从高往低正常下降，真空度可以抽下去，更换电离规之后真空度为什么总有漏气？因为密封圈损坏了吗？ 发自小木虫Android客户端 |
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Heart7411
铜虫 (正式写手)
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- 虫号: 15207390
- 注册: 2019-05-28
- 专业: 半导体材料
2楼2022-05-10 19:38:21
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感谢，您好，我试过两个新的电离规，反复装了好几次，连密封圈都换新的了几次，注射酒精试了几次，没什么明显气压变化，就是感觉有微漏，最近又把旧的换上去了，旧的之前估计接线不良，之前老是出现主阀完全打开后，示数直接变成1.*10-4或者超量程，然后慢慢变高，再正常下降，真空度半小时可以抽到5.0*10-4，现在重新调整接线后，可以正常下降了，但是旧的这次实验前后真空度抽到5.0*10-4后，隔了一夜气压大概在420Pa左右，设备是JGP450，别人之前跟我说抽到-4以下的话，隔了一天后真空度一般是100Pa左右，一般真空度可以抽下去后，这个隔了一天的腔体内的气压400多也是代表不漏气吧？ 发自小木虫Android客户端 |
3楼2022-05-15 23:00:18
4楼2023-08-15 20:02:39
